方阻測(cè)試儀通常具有較高的自動(dòng)化程度。操作人員只需將待測(cè)材料放置在測(cè)試臺(tái)上，啟動(dòng)測(cè)試程序，儀器即可自動(dòng)完成電流注入、電壓測(cè)量、數(shù)據(jù)處理和結(jié)果顯示等步驟。一些儀器還具備自動(dòng)探針壓力調(diào)節(jié)、測(cè)試區(qū)域定位等功能，進(jìn)一步簡(jiǎn)化了操作過(guò)程。內(nèi)部配備了強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，能夠根據(jù)測(cè)量的電壓、電流等參數(shù)自動(dòng)計(jì)算出方阻值，并進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、統(tǒng)計(jì)分析等。還可以通過(guò)連接計(jì)算機(jī)等外部設(shè)備，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的遠(yuǎn)程傳輸和進(jìn)一步處理，方便用戶(hù)對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行管理和分析。
方阻測(cè)試儀在測(cè)試過(guò)程中，探針只是與材料表面輕微接觸，通入的電流通常也在材料允許的范圍內(nèi)，不會(huì)對(duì)材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)造成破壞。這使得它可以在材料的研發(fā)、生產(chǎn)過(guò)程中進(jìn)行多次重復(fù)測(cè)量，而不會(huì)對(duì)材料的性能產(chǎn)生不良影響，有利于對(duì)材料性能的評(píng)估和質(zhì)量控制。
方阻測(cè)試儀的測(cè)定步驟：
1.開(kāi)機(jī)預(yù)熱：將電源插頭插入插座，打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，讓儀器預(yù)熱15分鐘左右，保證測(cè)試數(shù)據(jù)穩(wěn)定。
2.放置樣品：把待測(cè)樣品放置在測(cè)試臺(tái)上，確保樣品表面平整、干凈，與探針良好接觸。對(duì)于不規(guī)則形狀的樣品，需盡量選擇表面均勻、有代表性的區(qū)域進(jìn)行測(cè)試。
3.連接探針：將四探針輕輕放置在樣品表面上，使探針與樣品保持良好接觸，且四根探針等距共線排列。
4.設(shè)置參數(shù)：根據(jù)樣品的材料、預(yù)計(jì)方阻范圍等，在測(cè)試儀上設(shè)置合適的測(cè)試電流、電壓等參數(shù)。一般來(lái)說(shuō)，對(duì)于半導(dǎo)體材料等電阻率較高的樣品，可選用較小的測(cè)試電流；對(duì)于導(dǎo)電性能較好的樣品，可適當(dāng)增大測(cè)試電流。
5.開(kāi)始測(cè)量：按下測(cè)量按鈕，測(cè)試儀會(huì)在兩個(gè)外部探針之間施加穩(wěn)定的電流，然后通過(guò)測(cè)量?jī)蓚€(gè)內(nèi)部探針之間的電位差來(lái)計(jì)算電阻值，并自動(dòng)根據(jù)公式計(jì)算出方阻。
6.讀取記錄：測(cè)量完成后，從測(cè)試儀的顯示屏上讀取方阻數(shù)值，并記錄下來(lái)。若需要多次測(cè)量取平均值以提高精度，則需在不同位置重復(fù)上述測(cè)量步驟。
7.結(jié)束測(cè)試：測(cè)量完畢后，關(guān)閉電源開(kāi)關(guān)，整理好測(cè)試臺(tái)及探針等配件。
